硅化钨 Tungsten disilicide（WSi2） 

硅化钨
CAS编号：12039-95-1
EINECS编号：12039-95-1
熔点：2320°C
密度：14.400 
密度 :9.88 g/cm3
性质：具有良好的抗氧化性，溶于氟王水，但是不溶于水。二硅化钨的化学性质它可以和许多的物质发生剧烈反应，例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。
用途：WSi2常被用于微电子中作为触电材料，其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器，从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。二硅化钨 (WSi2) 因其具有高熔点、较好的稳定性，及低电阻率的特点，在 CMOS 制程上的应用已愈来愈普遍，主要用于提升金属铝和硅之间的欧姆接触及用来和多晶硅 (Polysilicon) 一起作为 gate 的导体材料，以降低 gate 的电阻率。
硅化钨的制备方法：
(1）将钨粉和硅粉按摩尔比1:2配料，将钛粉与石墨粉按摩尔比1:1配料，然后分别混合均匀。
(2）将W-Si混合粉装在坩埚中央，Ti-C混合粉均匀装在W-Si混合粉与坩埚之间，最后在所有混合粉的顶部装一层Ti-C混合粉，坩埚内所装的Ti-C混合粉与W-Si混合粉的重量比例为(0.8~1.2)：1
(3）将装混合粉的坩埚装入一个密闭的反应器中，抽真空后充入氩气，然后用钨丝通电引发混合料间的反应。
(4）冷却后取出反应后的物料，将碳化钛与二硅化钨分开，分别破碎后得到碳化钛和二硅化钨粉末。
包装储存：一般为惰气防静电包装，应密封保存于干燥、阴凉的环境中，不宜长久暴露于空气中，防受潮发生团聚，影响分散性能和使用效果。